經(jīng)濟(jì)實(shí)用的神視SUNX晶圓定位傳感器

經(jīng)濟(jì)實(shí)用的神視SUNX晶圓定位傳感器

特點(diǎn)應(yīng)用：

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。

0.5ms的高速反應(yīng)

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測

利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。

M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

測量距離 45mm

檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(注5)

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下

M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。

亦可檢測玻璃晶圓

可檢測涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

產(chǎn)品型號：

寶德 

壓力表 00444504，PRESS：8311，4-20MA，12-30V，0-20bar     

球閥 00226498，VL-521T,1/2",225192    

球閥 00226502，VL-521T,2",225196 

Ross

W6476B3401  ROSS

氣動換向閥  2776B6011

三位五通電磁閥 W7077C6331-ROSS帶24DC電磁線圈

二位三通換向閥 2774B9001-ROSS常開式

帶DC24V電磁線圈 ROSS 1個

二位三通換向閥 2773B9001-ROSS帶DC24控制線圈

經(jīng)濟(jì)實(shí)用的神視SUNX晶圓定位傳感器